欧瑞康莱宝于九十年代研发的新型的DIP系列大口径扩散泵,对传统扩散泵在许多方面做了重大改进,其主要特点:
- 抽速大;抽速范围为3000~50000升/秒(ISO/DIN国际标准,既中国标准),共分六种规格;
- 泵壁有凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积,冷却效果好;
- 油蒸气返流量低。不加外置水冷挡板并使用DIFFELEN普通矿物油,其返流量为1×10-3毫克/厘米2每分钟,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分钟;
- 极限真空度高;低于10-8mbar;
- 重量轻;50000升/秒抽速的DIP50000扩散泵的重量仅为560公斤;
- 采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热,热传输效率高,因此预热、时间短;对于抽速为3000-20000升/秒的泵,预热时间为小于25分钟;30000和50000升/秒的泵,预热时间小于30分钟;
- 可在不停泵的情况下更换扩散泵的加热棒;
- 装有过热保护装置,防止泵油过热;
- 通过油观察窗可随时观察油是否变质;
- 有注油口和放油口,换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下;
- 允许前级压力高,为0.6mbar。
- 在冶金、热处理和镀膜等领域,欧瑞康莱宝为客户度身订做各种规格的扩散泵组。
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